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氮吹浓缩仪的辉光放电过程
日期:2019/7/9 9:19:32

氮吹浓缩仪的辉光放电过程包括样品的原子化和样品原子的激发、离子化。在辉光放电中,样品的原子化是通过阴极溅射来实现的。放电气体离子(如氩离子)在电场的加速下达阴极表面,当一个离子碰撞到表面时,其动能可能传递给阴极表面的原子,处于表面的样品原子就可能获得足以克服晶格束缚的能量,在正常的情况下以平均能量为5~15eV的中性原子形式逸出样品表面。氮吹浓缩仪的辉光放电过程正离子由于受到阴极暗区电场的作用而返回到样品的表面,而中性原子将进一步扩散进入负辉区。从而阴极(样品)物质的原子在离子的轰击下释放出来,进入等离子体中并经历一系列碰撞,这正是辉光放电能在分析上应用的基础。同时,溅射进入辉光等离子体的原子组成与被溅射样品的原子组成相同。氮吹浓缩仪的辉光放电过程通过阴极溅射出来的物质除了有样品原子还有阴极材料小簇、离子和二次电子等。


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